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用于改善MEM加速度计的频率响应的方法和装置 

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申请/专利权人:美国亚德诺半导体公司

摘要:本公开涉及用于改善MEM加速度计的频率响应的方法和装置。公开一种用于测量加速度的传感器装置及其操作方法。在一些实施方案中,传感器内部的电路将来自加速度计的测得的加速度信号数字化为数字化的加速度信号,并由传感器内的数字均衡滤波器进行处理以提供均衡的加速度信号。均衡的加速度信号可以具有在延伸超出传感器的加速度计内的MEMS传感器的谐振频率的频率范围内基本平坦的频率响应。

主权项:1.一种用于操作传感器装置的方法,该传感器装置包括具有微机电系统MEMs传感器的加速度计,该MEMs传感器具有谐振频率f0,该方法包括:在所述加速度计的输出端测量加速度信号;基于所述加速度信号产生数字化的加速度信号;和使用数字均衡滤波器处理数字化的加速度信号以产生均衡的加速度信号,所述均衡的加速度信号的幅度频率响应在从0到高于f0延伸的频率范围内变化不超过3分贝,其中处理数字化的加速度信号包括使用MEMs传感器的传递函数来产生所述均衡的加速度信号。

全文数据:

权利要求:

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