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申请/专利权人：西安交通大学
摘要：一种混合传感‑驱动阵列的电容微力传感器及闭环检测电路，传感器包括通过支撑梁固定在边框上的质量块，质量块前端延伸一个细长探针，质量块中部布置有两个以上的变间距型和变面积型复合电容阵列；在质量块末端布置有两个以上的变面积型驱动梳齿阵列；闭环检测电路通过变间距型梳齿阵列和变面积型梳齿阵列的电容变化检测质量块的位置和速度信息，通过控制器使变面积型驱动梳齿阵列产生对应静电力，完成亚nN‑μN量级微力信号的闭环检测；本发明可以大幅提电容微力传感器动态检测性能和检测精度，并减少传感器内部噪声及电路噪声的对微力信号检测的干扰。
主权项：1.一种混合传感-驱动阵列的电容微力传感器，其特征在于：通过支撑梁悬空在传感器前部的可动的质量块，支撑梁另一端固定在边框上；质量块前端延伸一个细长探针，当力信号施加在探针上时，探针可带动质量块和支撑梁在工作敏感方向上运动，探针形状、尺寸根据应用需求确定；传感器中部布置有两个以上的变间距型梳齿阵列和两个以上的变面积型梳齿阵列，动梳齿阵列布置在质量块末端的动梳齿悬臂上，相对应的定梳齿阵列固定在边框上，变间距型梳齿阵列和变面积型梳齿阵列的尺寸、数量、布置位置、组合方式根据应用需求确定；传感器末端布置有两个以上的变面积型驱动梳齿阵列，动梳齿阵列布置在驱动悬臂上，相对应的定梳齿阵列固定在边框上，变面积型驱动梳齿阵列的尺寸、数量、布置方式根据应用需求确定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 一种混合传感-驱动阵列的电容微力传感器及闭环检测电路
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