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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
摘要：本公开实施例提供了一种金属蒸发源设备，包括：外壳、第一内胆层、第二内胆层、加热丝；其中，第一内胆层，贴附在外壳的内壁；第二内胆层，与第一内胆层连接或与第一内胆层共同作用，用于固定加热丝；第一内胆层与第二内胆层均采用绝缘材料，且绝缘材料的热稳定性在加热丝处于预定工作温度时为稳定状态。本公开实施例增加了由绝缘材料制作的第一内胆层，通过第一内胆层作为中间介质，进而阻隔钽挥发后附着钽的PBN环直接与外壳连接，进而避免了短路情况的发生，减少加热源短路的情况，降低了宕机成本与维修成本。
主权项：1.一种金属蒸发源设备，其特征在于，包括：外壳、第一内胆层、第二内胆层、加热丝；其中，所述第一内胆层，贴附在所述外壳的内壁；所述第二内胆层，与所述第一内胆层连接或与所述第一内胆层共同作用，用于固定所述加热丝；所述第一内胆层与所述第二内胆层均采用绝缘材料，且所述绝缘材料的热稳定性在所述加热丝处于预定工作温度时为稳定状态；所述第一内胆层的高度等于所述外壳的高度；所述第二内胆层与所述第一内胆层连接，所述第二内胆层包括M个环形结构，N个环形结构对应一组加热丝，每一组加热丝嵌入在所述N个环形结构组成的结构本体上，其中，N小于或等于M，N为大于或等于1的整数；所述第一内胆层的高度大于所述加热丝的高度；所述绝缘材料为陶瓷；所述外壳的横截面为圆环；所述第二内胆层为PBN环，所述外壳为非金属外壳。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 成都京东方光电科技有限公司 一种金属蒸发源设备
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