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一种可分区调控流量的散热结构及其制备方法 

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申请/专利权人:北京大学;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司

摘要:本发明涉及一种可分区调控流量的散热结构,其通过调整入液管路与入液口的连接关系以及出液管路与出液口的连接关系,以及通过调整散热结构内不同区域的嵌入式微流道及歧管通道的结构特征和并行度来调整流阻,可以极大程度的减少调控流量所需要的压力调控结构数目。本发明的散热结构通过调节压力调控结构的压强数值,可以动态调控散热结构内不同区域的散热性能,相较于传统的单阀门流道结构,可以提升泵功的利用率,提升散热系统的能耗比。本发明针对散热结构内散热性能要求高的区域设计了小尺寸、高并行度、小流阻的歧管通道结构,在强化冷却性能的同时,较小流阻使得压降调控更为有效,增加了调制比例。另外,本发明还涉及所述散热结构的制备方法。

主权项:1.一种可分区调控流量的散热结构,其特征在于,包括:盖板结构,包括第一散热单元阵列,每个所述第一散热单元的背部均设置有嵌入式微流道;底板结构,包括第二散热单元阵列,每个所述第二散热单元的顶部均设置有歧管通道、入液口和出液口,所述第一散热单元阵列中的第一散热单元与所述第二散热单元阵列中的第二散热单元一一对应地通过所述歧管通道和所述嵌入式微流道流体连通;多条入液管路,每条所述入液管路上并联连通有多个所述入液口,并且每个所述入液口只能连接一条所述入液管路;多条出液管路,每条所述出液管路上并联连通有多个所述出液口,并且每个所述出液口只能连接一条所述出液管路;以及每条所述入液管路的入口处和或每条所述出液管路的出口处均设有压力调控结构。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京大学 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 一种可分区调控流量的散热结构及其制备方法

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