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申请/专利权人：上海馨欧集成微电有限公司

摘要：本发明提供一种弹性波谐振器与滤波器，第一汇流条、第三汇流条及第一汇流条与第三汇流条之间的结构看作弹性波谐振器单元，第二汇流条、第三汇流条及第二汇流条和第三汇流条之间的结构看作弹性波谐振器单元，通过弹性波谐振器单元相互级联提高功率耐受性，且相同电容下谐振器的电极对数增加实现对纵向高阶模式的抑制；同时第一空气隙轨迹和第三空气隙轨迹存在不为零的能流入射角，实现对横向高阶模式的抑制，且第二空气隙轨迹和第四空气隙轨迹与声波传播方向平行，整个弹性波谐振器依然保持为矩形，有利于弹性波滤波器的布局和缩小器件面积，本申请采用简单的结构实现了横向高阶模式和纵向高阶模式的抑制，提高了功率耐受性且有利于器件布局。

主权项：1.一种弹性波谐振器，其特征在于，所述弹性波谐振器包括压电薄膜层及设置于所述压电薄膜层上的顶电极，所述顶电极包括：平行设置的第一汇流条和第二汇流条，以及位于所述第一汇流条与所述第二汇流条之间的第三汇流条，所述第一汇流条、所述第二汇流条与声波传播方向平行；第一叉指电极和第二叉指电极，均位于所述第一汇流条与所述第三汇流条之间，在沿声波传播方向上，所述第一叉指电极和所述第二叉指电极交替排布，其中，所述第一叉指电极和所述第一汇流条连接，且所述第一叉指电极和所述第三汇流条之间设有第一假指电极，所述第一叉指电极和所述第一假指电极之间具有第一空气隙，多个所述第一空气隙构成第一空气隙轨迹，所述第一空气隙轨迹的至少40%切向与声波传播方向的夹角不为零，所述第二叉指电极和所述第三汇流条连接，且所述第二叉指电极和所述第一汇流条之间具有第二空气隙，多个所述第二空气隙构成第二空气隙轨迹，所述第二空气隙轨迹与声波传播方向平行；第三叉指电极和第四叉指电极，均位于所述第三汇流条与所述第二汇流条之间，在沿声波传播方向上，所述第三叉指电极和所述第四叉指电极交替排布，其中，所述第三叉指电极和所述第二汇流条连接，且所述第三叉指电极和所述第三汇流条之间设有第二假指电极，所述第三叉指电极和所述第二假指电极之间具有第三空气隙，多个所述第三空气隙构成第三空气隙轨迹，所述第三空气隙轨迹的至少40%切向与声波传播方向的夹角不为零，所述第四叉指电极和所述第三汇流条连接，且所述第四叉指电极和所述第二汇流条之间具有第四空气隙，多个所述第四空气隙构成第四空气隙轨迹，所述第四空气隙轨迹与声波传播方向平行。

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