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申请/专利权人：伊利诺斯工具制品有限公司
摘要：示例质量流量控制器包含流动通路、层流元件和压力换能器组装件，流动通路包含第一腔体和第二腔体，压力换能器组装件包含绝对压力换能器和差压换能器，绝对压力换能器暴露于第三腔体中的绝对压力，该第三腔体与第一腔体流体连通，差压换能器暴露于第三腔体与第二腔体之间的差压。质量流量控制器还包含流量控制阀，该流量控制阀在层流元件下游，并且根据压力换能器组装件所感测到压力来致动。
主权项：1.一种质量流量控制器，包含：穿过所述质量流量控制器的流动通路；所述流动通路包含第一腔体和第二腔体，与所述第一腔体和所述第二腔体相邻的层流元件；其中所述第一腔体在所述层流元件的上游，而所述第二腔体在所述层流元件的下游，组合式绝对压力和差压换能器组装件，所述组合式绝对压力和差压换能器组装件包含：第三腔体，所述第三腔体与所述第一腔体流体连通，绝对压力换能器，所述绝对压力换能器具有绝对压力膜，并且暴露于所述第三腔体中的绝对压力，以及差压换能器，所述差压换能器具有第一差压膜和第二差压膜，并且暴露于所述第三腔体与所述第二腔体之间的差压，以及流量控制阀组装件，所述流量控制阀组装件被配置为控制流体通过所述流动通路的流动；其中所述流量控制阀组装件在所述层流元件以及所述组合式绝对压力和差压换能器组装件的下游。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 伊利诺斯工具制品有限公司 具有绝对压力和差压换能器的质量流量控制器
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