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行列寻址超声换能装置 

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申请/专利权人:维蒙公司

摘要:本说明书涉及一种行列寻址阵列超声换能装置,该装置包括金属化活性材料板,该金属化活性材料板包括具有第一主表面和与第一主表面相对的第二主表面的活性材料板、在第一主表面上的第一金属主表面层204和在第二主表面上的第二金属主表面层。

主权项:1.一种行列寻址阵列超声换能装置,包括:-金属化活性材料板302,其包括具有第一主表面104和与所述第一主表面相对的第二主表面106的活性材料板303、在所述第一主表面104上的第一金属主表面层204和在所述第二主表面106上的第二金属主表面层206;-声阻抗匹配层402,404,其结合到所述第二金属主表面层206;-在第一方向上定向的第一组平行切割凹口502,504,506,508,510,512,514,516,所述第一组凹口延伸穿过所述金属化活性材料板302的整个厚度并在第一方向上沿着所述金属化活性材料板302的整个长度延伸,并将所述第二金属主表面层206个体化为一组列电极;-沿着与所述第一方向不同的第二方向定向的第二组平行切割凹口602,604,606,608,610,612,614,616,618,620,622,所述第二组凹口延伸穿过第一金属主表面层204的整个厚度和活性材料板303的至少部分厚度,并且在第二方向上沿着所述金属化活性材料板302的整个长度延伸,并将所述第一金属主表面层204个体化为一组行电极624,626,628,630,632,634,636,638,640,642和第一外部行列电极触点644,646,648,650,652,654,656,658,660,所述第一外部行列电极触点中的每个列电极触点电连接到所述组列电极的相应列电极;以及-互连层702,其包括:电绝缘材料的衬底704;所述衬底704上的第一组导电迹线706,710,714,716,718,722,所述第一组导电迹线中的每个迹线与所述第一外部行列电极触点的相应列电极触点644,648,652,656,660电接触;以及所述衬底704上的第二组导电迹线724,726,728,730,732,734,736,738,740,742,所述第二组导电迹线中的每个迹线与行电极行624,626,628,630,632,634,636,638,640,642中的相应行电连通。

全文数据:

权利要求:

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