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申请/专利权人：晶源半导体材料科技(沈阳)有限公司
摘要：本实用新型公开一种样品位置转换组件，涉及真空镀膜技术领域，解决各个衬底之间生长的金刚石薄膜的厚度不一致的技术问题，包括公转轴、转台机构和驱动机构，所述公转轴沿z轴方向竖直放置，所述转台机构具有一个可沿水平方向旋转的公转台和多个以所述公转台轴心线为中心环形分布的自转单元，所述公转台能够同时驱动多个所述自转单元以自转的方式围绕所述公转轴公转。本实用新型多个样品台承载的基片生长镀膜时在围绕公转轴公转的同时又自身进行旋转，使得各个基片的位置进行交替变化的同时也使得自身位置在水平方向进行位置变化，进而使得每个基片上的不同位置的金刚石薄膜生长的更加均匀。
主权项：1.一种样品位置转换组件，具有多个呈环形分布的样品台，每个所述样品台具有两个相对设置的承载面和抵接面，所述承载面用于承载基片，其特征在于，还包括：公转轴，沿z轴方向竖直放置，所述公转轴具有两个相对的第一端和第二端；转台机构，具有一个可沿水平方向旋转的公转台和多个以所述公转台轴心线为中心环形分布的自转单元，所述公转台具有两个相对的第一端面和第二端面，所述公转轴的第一端与所述第二端面的轴心处同步转动连接，所述自转单元用于承载所述样品台，所述公转台能够同时驱动多个所述自转单元以自转的方式围绕所述公转轴公转；所述转台机构还具有一个与所述公转台可发生相对转动的内齿盘，所述公转台与所述内齿盘同轴心配合；每个所述自转单元具有一个行星齿轮，所述行星齿轮与所述内齿盘啮合连接；所述公转台驱动所述行星齿轮围绕所述公转轴旋转的同时又进行与所述公转台旋转方向相反的自转运动；所述内齿盘为内直齿盘；所述自转单元为第一自转单元，所述行星齿轮为直齿行星齿轮，多个所述直齿行星齿轮均通过自转轴转动连接在所述公转台的第一端面的圆周；驱动机构，其用于驱动上述公转轴旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 晶源半导体材料科技(沈阳)有限公司 一种样品位置转换组件
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