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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：公开了一种化学容器，所述化学容器包括布置在结合到化学容器的壳体中的细长沉孔中的汲取管和液位传感器管。化学容器可以构造成允许进行推回程序，由此化学容器中的液体液位降低到汲取管在汲取管内部或汲取管底部处没有液体的点。一旦汲取管没有液体，则可使用真空源来吹扫化学容器内的蒸气，而没有损坏真空源的风险。
主权项：1.一种用于提供化学前体的化学容器，所述化学容器包括：容器壳体；内置于所述容器壳体的底部中的沉孔；从所述容器壳体的顶部延伸到所述沉孔中的液位传感器管；以及从所述容器壳体的顶部延伸的汲取管；其中，所述容器壳体内的液位传感器管的长度大于所述容器壳体内的汲取管的长度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 具有汲取管的化学源容器
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