龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海大学
摘要：本发明涉及微纳尺度测温领域，以及材料识别领域和生物组织检测领域，公开了一种基于局域增强拉曼散射光纤探针的半导体器件原位温度测量系统。局域增强拉曼散射光纤探针由锥形光纤的尖端附着贵金属颗粒得到，将局域增强拉曼散射光纤探针与音叉结合实现微纳尺度内的无损扫描，再结合光学探测模块，构成了基于局域增强拉曼散射光纤探针的半导体器件原位温度检测系统。本发明方法实现了半导体器件的原位温度分布、表面形貌和材料分布的同时检测，为电子器件的分析提供了技术手段，另外本发明也适用于化学物质和生物组织等其他材料的检测分析。
主权项：1.一种基于局域增强拉曼散射光纤探针的半导体器件原位温度测量系统，其特征在于：包括局域增强拉曼散射光纤探针4，原子力反馈控制模块6，激光器3，拉曼信号收集模块1，光谱仪2，光纤探针针尖附着贵金属纳米颗粒9构成增强拉曼散射光纤探针4；增强拉曼散射光纤探针4固定在音叉侧壁上，原子力反馈控制模块6连接局域增强拉曼散射光纤探针4和位移台7，拉曼前端模块1连接到光谱仪2上，激光器3的激发光照射在样品上，原子力反馈控制模块6控制下局域增强拉曼散射光纤探针4的尖端和样品7处于非接触状态，且间距恒定，改变局域增强拉曼散射光纤探针4和样品7的相对位置实现半导体器件扫描测量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大学 基于局域增强拉曼散射光纤探针的半导体器件原位温度测量系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号