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申请/专利权人：武汉精立电子技术有限公司;武汉加特林光学仪器有限公司
摘要：本发明公开了一种曲面光学元件表面瑕疵检测装置，包括：光源、准直镜组、半透半反镜、补偿镜组和检测装置；光源放置在准直镜组的第一焦点位置，与准直镜组配合产生一束平行的照明光；补偿镜组用于使得照明光在曲面光学元件表面上任意一点均垂直于切线方向入射；补偿镜组还用于使得反射光变为平行光；反射光是照明光照射到曲面光学元件后反射形成的；半透半反镜设置于准直镜组和补偿镜组之间，用于使得照明光透射通过，并使得反射光转向至检测装置；检测装置用于接收反射光。本发明通过设置补偿镜组，使得照明光垂直入射到曲面光学元件的被检测表面，当表面瑕疵时会改变其反射光的特性，从而通过反射光来检测曲面光学元件表面瑕疵。
主权项：1.一种曲面光学元件表面瑕疵检测装置，包括：光源、准直镜组、半透半反镜、补偿镜组和检测装置；所述光源放置在所述准直镜组的第一焦点位置，与所述准直镜组配合产生一束平行的照明光；所述补偿镜组用于使得所述照明光在所述曲面光学元件表面上任意一点均垂直于切线方向入射；所述补偿镜组还用于使得反射光变为平行光；所述反射光是所述照明光照射到所述曲面光学元件后反射形成的；所述半透半反镜设置于所述准直镜组和所述补偿镜组之间，用于使得所述照明光透射通过，并使得所述反射光转向至所述检测装置；所述检测装置用于接收所述反射光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉精立电子技术有限公司 武汉加特林光学仪器有限公司 一种曲面光学元件表面瑕疵检测装置及方法
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