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申请/专利权人：苏州普伊特自动化系统有限公司
摘要：本发明公开了一种隧道式硅片烘干设备，包括传输线，以及依次对应传输线设置的上料段、烘干段及下料段；上料段设置有位于传输线上方的上料盖板，下料段设置有位于传输线上方的下料盖板；还包括热风系统，热风系统包括设置在烘干段外部的鼓风机，连通至鼓风机的出风口的加热箱，连通至加热箱的出风口的进风管，以及沿输送方向水平并列设置在烘干段内并位于传输线上方的出风管，出风管的进风口均连通至进风管的出风口。本发明中，花篮等载具在传送过程中，热风从上向下不停供应，运行时间可按需设定，且由于隧道内空间封闭，受两侧盖板开闭影响小，热量损耗低，能保证持续高温，气流均匀从上向下流动，可以节省能源，提高烘干效率。
主权项：1.一种隧道式硅片烘干设备，其特征在于，包括传输线10，以及依次对应所述传输线10设置的上料段21、烘干段22及下料段23；所述上料段21设置有位于所述传输线10上方的上料盖板211，所述下料段23设置有位于所述传输线10上方的下料盖板231；还包括热风系统，所述热风系统包括设置在所述烘干段22外部的鼓风机51，连通至所述鼓风机51的出风口的加热箱52，连通至所述加热箱52的出风口的进风管53，以及沿输送方向水平并列设置在所述烘干段22内并位于所述传输线10上方的出风管221，所述出风管221的进风口均连通至所述进风管53的出风口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州普伊特自动化系统有限公司 一种隧道式硅片烘干设备
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