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申请/专利权人：清华大学
摘要：本发明公开了属于MEMS技术领域的一种高密度储能并能感知高g值加速度的MEMS器件。该MEMS器件由一个典型的悬臂梁质量块和多孔电极构成，并封装在密封的腔体中，腔体内充满电解液。通过在内部结构上烧结多孔电极，多孔电极和电解液将够成超级电容从而实现能量存储和对外能量供应。当器件受到外界的高g值加速度时，悬臂梁质量块将在电解液液体环境下运动，电解液快速流过多孔电极，将导致多孔电极内部的离子浓度出现突变，从而导致器件电压随着流速变化而变化。封闭的液态环境对悬臂梁质量块进行阻尼，使器件在高g值冲击下维持较好的线性度并能够显著的降低其后续的振荡与杂波。
主权项：1.一种高密度储能并能感知高g值加速度的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件由一个典型的悬臂梁质量块和多孔电极复合在上中下电极上，并封装成三种电极构型的密封腔体，构成MEMS器件；腔体内，悬臂梁质量块与中电极连接；上中下电极为金属集电极；腔体内充满电解液；通过在内部上中下电极结构上烧结多孔电极，多孔电极和电解液将够成超级电容，从而实现能量存储和对外能量供应；当MEMS器件受到外界的高加速度g值加速度时，悬臂梁质量块将在电解液液体环境下运动，电解液快速流过多孔电极，将导致多孔电极内部的离子浓度出现突变，从而导致MEMS器件电压随着流速变化而变化；所述MEMS器件受到外界的加速度越大，悬臂梁质量块的运动幅度就越大，液体的流速改变就越快，从而导致电压的突变越明显；所述封闭的液态环境对于悬臂梁质量块相当于阻尼，能够显著的降低其后续的振荡与杂波。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 一种高密度储能并能感知高g值加速度的MEMS器件
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