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申请/专利权人：芝浦机械电子装置株式会社
摘要：本发明的课题是提供一种晶片收纳容器干燥装置及清洗系统，可抑制干燥槽的内部空间的容积的增大。实施方式的晶片收纳容器干燥装置具有对晶片收纳容器进行干燥的干燥槽，晶片收纳容器具有：主体，具有对晶片进行收纳且与开口部连通的收纳空间，并具有由机器人把持的凸缘；及门，能够开闭地装设于开口部，干燥槽包括：搬入搬出口，能够通过开闭盖打开关闭；主体收容部，以凸缘朝向搬入搬出口侧的状态对主体进行收容；以及门保持部，在将主体收容于主体收容部的状态下，设置于比主体更靠主体收容部的搬入搬出口侧处，在俯视观察干燥槽时，以门的各边不与形成搬入搬出口的一边正交及平行的方式对门进行保持。
主权项：1.一种晶片收纳容器干燥装置，具有对晶片收纳容器进行干燥的干燥槽，所述晶片收纳容器具有：主体，具有对晶片进行收纳且与开口部连通的收纳空间，并具有由机器人把持的凸缘；及门，能够开闭地装设于所述开口部，所述晶片收纳容器干燥装置中，所述干燥槽包括：搬入搬出口，能够通过开闭盖打开关闭；主体收容部，以所述凸缘朝向所述搬入搬出口侧的状态对所述主体进行收容；以及门保持部，在将所述主体收容于所述主体收容部的状态下，设置于比所述主体更靠所述主体收容部的所述搬入搬出口侧处，在俯视观察所述干燥槽时，以所述门的各边不与形成所述搬入搬出口的一边正交及平行的方式对所述门进行保持。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芝浦机械电子装置株式会社 晶片收纳容器干燥装置及清洗系统
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