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申请/专利权人：安徽微芯长江半导体材料有限公司
摘要：本发明公开了一种碳化硅晶片批量退火用上料架及退火炉管，包括安装在移动架顶板上的承载架以及安装在所述承载架上的阻缓单元；所述承载架上呈一字型等间距设置有多个限位杆组，所述限位杆组包括相对且间隔设置的两个限位杆，多个所述限位杆组的下方倾斜设置有支撑底板，且所述支撑底板的前端与所述移动架上端转动连接，所述支撑底板的后端穿过所述承载架上设置有活动开口，所述承载架的活动开口内腔壁上呈上下设置有上阻挡柱和下阻挡柱。本上料架与退火炉管配合使用，可方便操作人员的同时批量上料操作，可根据单个碳化硅晶片的质量施加不同的阻缓力阻碍加速后的碳化硅晶片运动，以实现碳化硅晶片的快速平稳无伤上料操作。
主权项：1.一种碳化硅晶片批量退火用上料架，其特征在于：包括安装在移动架（1）顶板上的承载架（2）以及安装在所述承载架（2）上的阻缓单元；所述承载架（2）上呈一字型等间距设置有多个限位杆组（4），所述限位杆组（4）包括相对且间隔设置的两个限位杆，多个所述限位杆组（4）的下方倾斜设置有支撑底板（3），且所述支撑底板（3）的前端与所述移动架（1）上端转动连接，所述支撑底板（3）的后端穿过所述承载架（2）上设置有活动开口，所述承载架（2）的活动开口内腔壁上呈上下设置有上阻挡柱（6）和下阻挡柱（5）；所述限位杆组（4）的组数与退火炉管内腔设置的晶片限位槽个数一致，且两个所述限位杆之间的间隙与晶片限位槽对应；所述阻缓单元靠近所述支撑底板（3）前端设置，所述阻缓单元可根据单个碳化硅晶片的质量施加不同的阻缓力阻碍加速后的碳化硅晶片运动。
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