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申请/专利权人：广东欧莱高新材料股份有限公司

摘要：本发明公开了一种高纯度高熵铝合金溅射镀膜材料的生产方法，本发明选制备铝铜硅预合金粉末，再添加镍、镧、铬和锰元素之中的两种及以上元素所形成合金相，通过球磨处理后进行致密烧结，最后加工得到高熵铝合金溅射镀膜材料，其晶体结构是至少混合分布有以AlSiCu为基体的五元及四元、三元等多元合金混合物，是一种同时兼具有较低接触电阻、耐氧化性强、高反射率和高附着力的铝合金膜层材料。

主权项：1.一种高纯度高熵铝合金溅射镀膜材料的生产方法，其特征在于：包括以下步骤，S1步骤，制备铝铜硅预合金粉末，按Al90Cu6Si4at％的原子百分比向雾化造粒机投入相应重量比例的低氧含量的高纯的铝粉、铜粉及硅粉，使用雾化造粒法制备得到原子百分含量为Al90Cu6Si4at％的合金化的微米级的铝铜硅预合金粉末，制备得到的铝铜硅预合金粉末的粉体粒度为8～30um、氧含量≤1000ppm；S2步骤，制备合金混合粉末，继续向S1步骤中的雾化造粒机添加纯度大于99.99％的高纯金属粉X，高纯金属粉X是镍粉、镧粉、铬粉和锰粉中的任意两种组成，制备得到的合金化的合金混合粉末，合金混合粉末的粉体粒度为8～30um、氧含量均小于1000ppm，其中，按元素原子百分比，2＜铜＜5at％，1＜硅＜3at％，2＜高纯金属粉X＜10at％，余量为铝以及不可避免的微量杂质元素；S3步骤，机械球磨处理，将合金混合粉末投入到机械球磨设备，向机械球磨设备添加液氮后进行机械球磨混合处理，球磨处理过程中充入氩气，使粉末部分合金化或表面合金化，得到混合球磨粉末；S4步骤，致密化预烧结，将混合球磨粉末罐装入热压炉模具的腔体内，第一次对将腔体升温和加压，先对混合球磨粉进行温度为150～250℃的恒温恒压处理1～3小时；然后再将腔体排空后，第二次对将腔体升温和加压，对混合球磨粉进行温度为420～480℃的恒温恒压处理3～5小时，热压烧结，制备得到铝合金坯锭；S5步骤，坯锭加工，将铝合金坯锭加工成为长方形靶坯；S6步骤，挤压成型，将长方形靶坯在氩气保护下加热到380～540℃，保温2～5小时后再通过特定挤压机进行挤压处理，得到形状和尺寸均接近设定规格的长方形的平面铝合金靶；S7步骤，对铝合金靶进行真空退火处理，退火温度控制在360～450℃，退火时间控制在2～5小时，完成退火处理后通过数控机床将其表面加工得到长度1500～3200mm的高熵铝合金平面靶坯；S8步骤，绑定焊合处理，将高熵铝合金平面靶坯与铜背板绑定焊合，制备得到高纯度高熵铝合金溅射镀膜材料，制备得到的高纯度高熵铝合金溅射镀膜材料的晶体结构是至少混合分布有以AlSiCu为基体的五元合金、四元合金和三元的多元合金混合物，高纯度高熵铝合金溅射镀膜材料中的C、N总含量均小于50ppm，氧含量小于500ppm，平均晶粒度≤50um，纯度大于99.99％。

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