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一种减薄机的磨抛气浮主轴及其气浮方法 

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申请/专利权人:北京中电科电子装备有限公司

摘要:本发明公开了一种减薄机的磨抛气浮主轴及气浮方法,磨抛气浮主轴至少包括止推轴承、径向轴承和设置在径向轴承内的旋转体;止推轴承包括上止推轴承和连接在上止推轴承下方的下止推轴承,径向轴承设置在上止推轴承和下止推轴承之间;主轴上还设置有送气口和排气口,旋转体上设有排气结构,止推轴承和径向轴承上设有送气结构,旋转体分别与径向轴承、上止推轴承和下止推轴承之间形成有中间缝隙,送气口、送气结构、中间缝隙、排气结构和排气口形成所述主轴内的气浮通路。本发明制备的减薄机的磨抛气浮主轴及其气浮方法,可以简化排气道设计,更好保证排气顺畅,避免产生自激振动,同时可以利用排气对电机定、转子进行风冷,稳定主轴工作状态。

主权项:1.一种减薄机的磨抛气浮主轴,其特征在于,至少包括止推轴承、径向轴承13和设置在所述径向轴承13内的旋转体;所述止推轴承包括上止推轴承和连接在上止推轴承下方的下止推轴承,所述径向轴承13设置在上止推轴承和下止推轴承之间;所述主轴上还设置有送气口18和排气口4,所述旋转体上设有排气结构,所述止推轴承和径向轴承13上设有送气结构,所述旋转体分别与径向轴承13、上止推轴承和下止推轴承之间形成有中间缝隙,所述送气口18、送气结构、中间缝隙、排气结构和排气口4形成所述主轴内的气浮通路。

全文数据:

权利要求:

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