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申请/专利权人：合肥工业大学智能制造技术研究院;合肥工业大学
摘要：本发明公开了一种用于真空系统检漏的方法，是利用银纳米颗粒在臭氧氛围中氧化会导致其等离激元共振峰衰减的特性，实现真空系统的检漏。本发明为真空系统检漏提供了一种全新的方法，并且能够直观地反映真空检漏结果。
主权项：1.一种用于真空系统检漏的方法，其特征在于：利用银纳米颗粒在臭氧氛围中氧化会导致其等离激元共振峰衰减的特性，实现真空系统的检漏。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥工业大学智能制造技术研究院 合肥工业大学 一种用于真空系统检漏的方法
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