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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明属于晶体生长及装置领域，具体涉及一种氧化镓晶体的水平定向凝固法单晶生长装置与方法。氧化镓晶体的水平定向凝固法单晶生长装置，包括炉体、加热系统和坩埚位移系统，炉体包括炉壳和炉顶，炉顶具有观察窗，炉壳的右侧面开孔，加热系统位于炉体内部，加热系统包括隔热板、位于隔热板左侧的主加热器和位于隔热板右侧的后加热器，坩埚位移系统通过炉壳的右侧面开孔水平伸入炉体内部并设置坩埚支架连接位于加热系统内部的坩埚，坩埚为铂铑合金薄板折叠而成且在晶体生长结束后可恢复成合金薄板。本发明可有效减少氧化镓晶体生长过程中的杂晶出现，同时有利于掺杂离子的均匀分布。坩埚对晶体的挤压更小，晶体开裂的风险更低，且可重复利用。
主权项：1.一种氧化镓晶体的水平定向凝固法单晶生长装置，其特征在于，包括炉体、加热系统和坩埚位移系统，所述炉体包括炉壳和炉顶，所述炉壳的右侧面开孔，所述炉顶具有观察窗，所述加热系统位于炉体内部，所述加热系统包括隔热板、位于隔热板左侧的主加热器和位于隔热板右侧的后加热器，所述坩埚位移系统通过炉壳的右侧面开孔水平伸入炉体内部并设置坩埚支架连接位于加热系统内部的坩埚，所述坩埚为铂铑合金薄板折叠而成且在晶体生长结束后可恢复成合金薄板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种氧化镓晶体的水平定向凝固法单晶生长装置与方法
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