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申请/专利权人：厦门大学
摘要：一种等离子体薄膜风速敏感元件及其制备方法和压气机，包括有绝缘层和敏感栅，该绝缘层附着于基底表面；该敏感栅附着于绝缘层表面，该敏感栅包括一电极对，该电极对包括正极和负极且二者之间具有间隙且为对称布置，该正极和负极末端分别设有外连结构，由于薄膜风速敏感元件的薄膜特性，其可以布置在复杂曲面，从而测得复杂曲面表面的流场信息，其可广泛用于对高温、高速、瞬态、小体积流场测量场景，具有高测试精度、响应速度快、对流场影响小等优点。
主权项：1.一种等离子体薄膜风速敏感元件，其特征在于：包括有绝缘层和敏感栅，该绝缘层附着于基底表面；该敏感栅是通过物理气相沉积工艺将ITO材料溅射到所述绝缘层表面，所述敏感栅的厚度为8μm-20μm，该敏感栅包括一电极对，该电极对包括正极和负极且二者之间具有间隙且为对称布置，该正极和负极末端分别设有外连结构；所述正极和所述负极为L形，所述正极和负极为180°对称布置，所述正极和负极之间的间隙为50μm到300μm。
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权利要求：
百度查询： 厦门大学 一种等离子体薄膜风速敏感元件及其制备方法和压气机
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