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申请/专利权人：株式会社基恩士
摘要：本发明涉及一种光学位移计。目的是在光切法的光学位移计中抑制测量对象的误测量。该光学位移计包括图像传感器、相对于图像传感器的光接收面倾斜地配置的护罩玻璃、以及用于容纳图像传感器和护罩玻璃的壳体。
主权项：1.一种光切法的光学位移计，用于基于三角测量的原理来测量沿Y方向输送的测量对象的X-Z截面的轮廓，所述光学位移计包括：光源，用于利用在X方向上具有宽度的狭缝光来照射所述测量对象；图像传感器，用于经由光接收透镜接收来自所述测量对象的反射光，所述图像传感器具有沿与所述X方向相对应的U方向和与Z方向相对应的V方向二维排列的多个像素并且输出所述多个像素对所述反射光的光接收量；护罩玻璃，其是以与所述图像传感器分开的方式配置的，并且是相对于所述图像传感器的光接收面倾斜地配置的；壳体，用于容纳所述图像传感器和所述护罩玻璃；检测单元，用于针对沿所述U方向排列的多个像素列中的各像素列，将作为所述光接收量的峰的所述V方向上的像素的位置检测为峰位置；以及生成单元，用于根据所述U方向上的所述多个像素列的各位置和所述V方向上的所述峰位置来生成所述X-Z截面的轮廓，所述光学位移计还包括：支撑构件，其具有面向所述图像传感器且接合至所述图像传感器的边缘部的顶面和附接有所述护罩玻璃的底面，所述顶面平行于所述图像传感器的光接收面，所述底面相对于所述图像传感器的光接收面倾斜。
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