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申请/专利权人：辽宁格物精细化工科技有限公司

摘要：本发明公开了一种水溶性晶圆切削液及其制备方法。本发明提供的切削液包括以下重量份的原料：EDTA4钠0.5‑1.5份，丙二醇15‑25份，改性缓蚀剂3‑5份，JFC渗透剂2‑3份，AEO93‑4份，改性钙基膨润土2‑4份，去离子水25‑35份，聚硅氧烷消泡剂0.5‑3份。本发明提供的水溶性晶圆切削液，具有优异的润滑性、抗菌性、防腐防锈性能，首先，利用膨润土自身优异的润滑性，并对其进行改性处理赋予其抗菌性能的同时，也改善了它的分散性；其次，改性缓蚀剂中硼酸酯、极性酰胺基以及非极性疏水性长链烷基的存在协同作用，提高了切削液的防腐除锈性能。

主权项：1.一种水溶性晶圆切削液，其特征在于，包括以下重量份的原料：EDTA4钠0.5-1.5份，丙二醇15-25份，改性缓蚀剂3-5份，JFC渗透剂2-3份，AEO93-4份，改性钙基膨润土2-4份，去离子水25-35份，聚硅氧烷消泡剂0.5-3份；所述改性缓蚀剂由以下步骤制备：步骤A1、将丝氨醇加入混合液A中，搅拌混合均匀，在室温下加入三甲基氯硅烷，回流2h，然后冷却至0℃，再将溶于氯仿的三乙胺和三苯甲基氯加入反应器中，得到的混合物搅拌1h，然后加入甲醇，浓缩、萃取、干燥，即得中间产物1，混合液A是由三氯甲烷和乙腈以体积比为5：1混合搅拌而成；步骤A2、将3-羧基苯硼酸和中间产物1加入含有甲苯的反应器中，回流反应6-8h，待反应结束后，减压蒸馏，然后将产物加入40mL醋酸溶液回流10min，萃取，并置于60℃下真空干燥，即得硼酸酯；步骤A3、将硼酸酯、十六烷基丙二酸和氧化铝加入含有甲苯的反应器中，冷凝回流，并在110℃下持续16-20h，待反应结束后，冷却至室温，萃取、洗涤、旋蒸，并在80℃下真空干燥，即得端羧基硼酸酯；步骤A4、将端羧基硼酸酯、二乙烯三胺加入含有二甲苯的反应器中搅拌混合均匀，并将体系温度加热至140-160℃搅拌反应4-6h，再将体系温度升高至190-210℃搅拌反应2-3h，待反应结束后，减压蒸馏，即得改性缓蚀剂；所述改性钙基膨润土由以下步骤制备：步骤B1、向醋酸溶液中加入壳聚糖搅拌混合均匀，加入5-氨基-1-甲基咪唑-4-甲醛，搅拌反应3-5h，再加入1wt%氢氧化钠溶液终止反应，静置10min，抽滤、洗涤，并置于60℃下干燥12h，即得前处理壳聚糖；步骤B2、将纳米钙基膨润土均匀分散在1molL的硫酸溶液中，在60℃下搅拌反应24h，待反应结束后，洗涤至中性，真空干燥12h，即得酸化膨润土；将干燥后的酸化膨润土分散在乙醇溶液中搅拌均匀，加入三甲基甲硅烷基乙酸，并加热至80℃回流反应18-24h，待反应结束后，冷却至室温，抽滤、洗涤，并在60℃下干燥12h，即得羧基化膨润土；步骤B3、将羧基化膨润土和壳聚糖溶液加入二氯甲烷中搅拌混匀，然后加入1-乙基-3-二甲基氨基丙基-3-乙基碳二亚胺盐酸盐和N-羟基琥珀酰亚胺继续搅拌6-12h，待反应结束后，离心、洗涤，并在60℃下干燥12h，即得改性钙基膨润土。

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