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申请/专利权人：常州铭赛机器人科技股份有限公司;铭赛机器人科技(东莞)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种集成固化功能的晶圆级点胶机，包括：框架，框架上设有承载平台，承载平台上放置有晶圆；点胶机构，点胶机构用于对晶圆上的待点胶位置进行点胶；执行机构，执行机构安装在所述框架上，点胶机构与执行机构连接；执行机构能够带动所述点胶机构移动；固化模块，固化模块设置在执行机构上，能够对晶圆上的胶体进行固化。将固化模块集成在点胶机内，在完成点胶工艺后不需要传递至下一工位完成固化工艺，可在同一工位完成点胶工艺与固化工艺，节省了时间成本，有利于提高工作效率，还减少了固化工位占用的地面空间。
主权项：1.一种集成固化功能的晶圆级点胶机，其特征在于，包括：框架1，所述框架1上设有承载平台11，所述承载平台11上放置有晶圆；点胶机构2，所述点胶机构2用于对晶圆上的待点胶位置进行点胶；执行机构3，所述执行机构3安装在所述框架1上，所述点胶机构2与所述执行机构3连接；所述执行机构3能够带动所述点胶机构2移动；固化模块4，所述固化模块4设置在所述执行机构3上，能够对晶圆上的胶体进行固化。
全文数据：
权利要求：
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