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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本实用新型提供一种多尺寸兼容对准组件及对准装置，涉及半导体技术领域。该多尺寸兼容对准组件包括承载板、转动臂、第一驱动部件和第二驱动部件，其中，转动臂至少为两个且均枢接于承载板；第一驱动部件设于所述承载板且其驱动端连接于各转动臂，用于驱动各转动臂绕对应的枢接处转动；第二驱动部件设于承载板，第二驱动部件的驱动端和各转动臂的第一端均设有用于推动晶圆的推动件，且各推动件在相应驱动部件的驱动下能够相向或背离运动以围成不同尺寸的轮廓圆。该多尺寸兼容对准组件中驱动部件数目少，结构简单、对驱动部件的控制调节负荷较低且对准精确度较高。
主权项：1.一种多尺寸兼容对准组件，其特征在于，包括：承载板100；转动臂，至少为两个且均枢接于所述承载板100；第一驱动部件300，设于所述承载板100，且其驱动端连接于各所述转动臂，用于驱动各所述转动臂绕对应的枢接处转动；以及，第二驱动部件400，设于所述承载板100，所述第二驱动部件400的驱动端和各所述转动臂的第一端均设有用于推动晶圆20的推动件，且各所述推动件在相应驱动部件的驱动下能够相向或背离运动以围成不同尺寸的轮廓圆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 多尺寸兼容对准组件及对准装置
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