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申请/专利权人：孟州市康耀电子有限公司
摘要：本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，特别是涉及一种用于磁控溅射镀膜线的调节式阴极遮挡装置。其包括装置主体、阳极板与遮挡机构，遮挡机构包括遮挡片，所述遮挡片活动连接于阳极板顶端端面，所述阳极板设于装置主体顶端端面，所述装置主体顶端端面设有阴极，所述阴极位于阳极板中间，且所述遮挡片活动连接于阴极顶端外侧，所述遮挡片与阳极板的连接处设有调节组件；通过设置的遮挡机构，在需要对镀膜区域的膜层薄厚进行精细调整时，无需额外在前期进行一系列的准备工作，而是可以根据需要调整的区域，来自由并快速地推动遮挡片进行覆盖，从而能提升永恒阴极遮挡时的效率与灵活度。
主权项：1.一种用于磁控溅射镀膜线的调节式阴极遮挡装置，包括装置主体1、阳极板2与遮挡机构，其特征在于：遮挡机构包括遮挡片31，所述遮挡片31活动连接于阳极板2顶端端面，所述阳极板2设于装置主体1顶端端面，所述装置主体1顶端端面设有阴极3，所述阴极3位于阳极板2中间，且所述遮挡片31活动连接于阴极3顶端外侧，所述遮挡片31与阳极板2的连接处设有调节组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 孟州市康耀电子有限公司 一种用于磁控溅射镀膜线的调节式阴极遮挡装置
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