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申请/专利权人：天津大学
摘要：本申请公开一种纵向电场激励单晶压电谐振器及其制造方法、电气产品，涉及谐振器技术领域。该谐振器包括：沿第一方向依次设置的第一电极、单晶压电薄膜、第二电极、介质层和衬底；所述介质层面向所述第二电极的一侧具有一空腔；所述衬底中具有第一通孔，且所述第一通孔中具有第一金属层，所述第一金属层通过所述空腔和所述第二电极电学连接。本申请将信号引出结构设置于谐振器核心工作部的下方，缩减器件在水平方向上占据的空间，减小器件尺寸，增加单位晶圆面积上的器件数量，降低成本。
主权项：1.一种纵向电场激励单晶压电谐振器，其特征在于，包括沿第一方向依次设置的第一电极、单晶压电薄膜、第二电极、介质层和衬底；所述介质层面向所述第二电极的一侧具有一空腔；所述衬底中具有第一通孔，且所述第一通孔中具有第一金属层，所述第一金属层通过所述空腔和所述第二电极电学连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 纵向电场激励单晶压电谐振器及其制造方法、电气产品
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