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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明涉及将由彼此平行地排列于沿着基板的主面的输送方向上的复数个输送辊输送的基板在第一姿势与第二姿势之间进行变更的姿势变更技术。本发明的基板姿势变更装置中，能实现输送辊的窄间距化。本发明将复数个输送辊分组为由在输送方向上彼此相邻的复数根输送辊构成的复数个输送辊组。另外，针对每个输送辊组，输送辊的两端部被辊支承部支承为自由旋转。另外，针对每个辊支承部，设置有转动部，利用基于转动部的辊支承部的转动，以输送辊组为单位，在第一姿势和第二姿势间切换输送辊。而且，针对每个辊支承部，设置有驱动部，由电动机产生的驱动力向直接驱动辊传递，且经由直接驱动辊向间接驱动辊传递，被该辊支承部支承的全部输送辊同步地旋转。
主权项：1.一种基板姿势变更装置，将由彼此平行地排列于沿着基板的主面的输送方向上的复数个输送辊沿所述输送方向输送的所述基板的姿势在第一姿势和比所述第一姿势倾斜的第二姿势之间进行变更，其特征在于，具有：辊支承机构，将所述复数个输送辊分组为复数个输送辊组，所述输送辊组由在所述输送方向上彼此相邻的复数根的输送辊构成，针对每个所述输送辊组，将构成该输送辊组的所述输送辊的两端部由与该输送辊组对应地设置的辊支承部支承为自由旋转；转动机构，针对每个所述辊支承部，利用与该辊支承部对应地一体地设置的转动部，使该辊支承部在被该辊支承部支承的所述输送辊的一端侧绕与所述输送方向平行的转动轴转动，从而将由该辊支承部支承的所述输送辊在所述第一姿势与所述第二姿势之间进行切换；以及驱动机构，针对每个所述辊支承部，利用与该辊支承部对应地设置的驱动部来驱动被该辊支承部支承的所述输送辊，在将所述输送辊中的与该驱动部对应的一根所述输送辊定义为直接驱动辊，并将所述输送辊中的剩余的所述输送辊定义为间接驱动辊时，各所述驱动部具有：电动机，产生驱动力；一侧动力传递部，将所述驱动力从所述电动机向所述直接驱动辊的一端部传递；以及另一侧动力传递部，将利用所述驱动力旋转的所述直接驱动辊的旋转力在所述直接驱动辊的另一端侧向所述间接驱动辊传递。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板姿势变更装置以及基板处理装置
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