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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明的目的在于提供一种能够迅速调整衬底的搬送的热处理装置及热处理方法。本发明在处理腔室内通过来自卤素灯的光照射对半导体晶圆进行预备加热后，进行来自闪光灯的闪光照射的加热处理。在比处理腔室中的对于半导体晶圆的加热处理结束的时刻t6提前固定时间tp的时刻t5，控制部向计划部发送事前预告信号。计划部在接收到事前预告信号的时点，以由搬送机器人进行的搬送动作的下一工序成为从处理腔室搬出半导体晶圆的方式，执行搬送的再计划。每次进行半导体晶圆的加热处理时，计划部都执行搬送的再计划，因此能够自动且迅速地调整半导体晶圆的搬送。
主权项：1.一种热处理装置，其特征在于，通过对衬底照射光来将所述衬底加热，且具备：处理腔室，收容衬底；灯，对收容在所述处理腔室的衬底照射光；多个附带处理部，进行所述处理腔室中的加热处理前后的处理；搬送机器人，对所述处理腔室及所述多个附带处理部进行衬底的搬送；控制部，控制设置在所述热处理装置的机构；计划部，基于预先登记的所述处理腔室及所述多个附带处理部中的处理时间制作搬送计划；及执行指示部，以依照由所述计划部制作的所述搬送计划执行衬底的搬送及处理的方式，对所述控制部进行指示。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 热处理装置及热处理方法
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