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申请/专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
摘要：一种粒子束显微镜，包括：电子束源5、束管7、具有两个磁极端46、47的磁性物镜、物体固持器、布置在束管7的下端27与物体3之间的闪烁体59、布置在闪烁体59与物体3之间的环形电极55；以及电位供应系统14，该电位供应系统将电位U1馈送到物体固持器4、将电位U2馈送到环形电极55、将电位U3馈送到闪烁体59以及将电位U4馈送到束管7的导电内侧表面。在本文中，下式适用：U4U1、U3U1、U2U1并且U2U3。
主权项：1.一种粒子束显微镜，包括：电子束源5，该电子束源用于产生电子束17；束管7，该束管包括导电内侧表面、第一端25和第二端27，并且被配置为使得该电子束17在该第一端25处进入该束管7并从该束管7的第二端27出射；磁性物镜9，该磁性物镜用于将该电子束17聚焦在物平面4上，其中，该磁性物镜9包括电磁线圈49和具有两个磁极端46，47的磁轭45，每个磁极端围绕该磁性物镜9的对称轴线41延伸；物体固持器11，该物体固持器被配置为将物体3固持在该物平面4上；闪烁体59，该闪烁体被配置为由来自该物平面4的电子产生光，并且如沿着该对称轴线41所见布置在该束管7的第二端27与该物平面4之间；第一环形电极55，该第一环形电极的面向该物平面4的一端如沿着该对称轴线41所见被布置在该闪烁体59与该物平面4之间；以及电位供应系统14，该电位供应系统被配置为将第一电位U1馈送到该物体固持器4、将第二电位U2馈送到该第一环形电极55、将第三电位U3馈送到该闪烁体59以及将第四电位U4馈送到该束管7的导电内侧表面，其中，下式适用：U4U1、U3U1、U2U1并且U2U3；以及式中，U1表示该第一电位，U2表示该第二电位，U3表示该第三电位，以及U4表示该第四电位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 粒子束显微镜
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