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申请/专利权人：西安砺芯慧感科技有限公司
摘要：本发明提供一种薄膜电阻温度传感器及制备方法，该传感器包括：基底、设在所述基底上的热敏电阻、覆盖所述热敏电阻的绝缘保护层；所述热敏电阻包括依次连接的基础阻值区、调阻区和电级区，所述基底上对应所述基础阻值区、所述调阻区和所述电极区分别设有第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽，所述第一凹槽、所述第二凹槽和所述第三凹槽分别沿所述基础阻值区、所述调阻区和所述电极区的轮廓边沿设置。本发明解决了目前温度传感器激光调阻、焊接封装以及使用过程中能量冲击导致热敏薄膜破裂或者阻值偏差的问题。
主权项：1.一种薄膜电阻温度传感器，其特征在于，包括：基底、设在所述基底上的热敏电阻、覆盖所述热敏电阻的绝缘保护层；所述热敏电阻包括依次连接的基础阻值区、调阻区和电级区，所述基底上对应所述基础阻值区、所述调阻区和所述电极区分别设有第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽，所述第一凹槽、所述第二凹槽和所述第三凹槽分别沿所述基础阻值区、所述调阻区和所述电极区的轮廓边沿设置。
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