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申请/专利权人：安徽工业大学
摘要：本发明涉及涂层制备技术领域，具体涉及一种通过ZrZr2NZrN多层涂层提高钛合金表面耐腐蚀磨损性能的方法，Zr中间层可以减少涂层缺陷，提高涂层致密性，并且可以优先产生钝化膜，阻碍腐蚀介质扩散，提高涂层耐腐蚀性能；同时，Zr金属层可以抑制裂纹扩展，腐蚀和韧性的共同提高改善了涂层医用钛合金在腐蚀环境中的磨损性能，钛合金表面ZrZr2NZrN多层涂层磨损率为4.69×10‑6mm3Nm‑1，相较于单层涂层1.46×10‑5mm3Nm‑1，下降了一个数量级，并且在模拟人体体液腐蚀时，多层涂层的平均电流密度1.19×10‑8Acm2相比单层涂层3.19×10‑8Acm2低3倍，多层涂层的耐蚀性明显优于单层涂层。
主权项：1.一种通过ZrZr2NZrN多层涂层提高钛合金表面耐腐蚀磨损性能的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，对钛合金式样进行超声清洗，烘干；S2，将步骤S1中处理好的钛合金式样放置在基片转架上，加热抽真空后，通入氩气，开启Ti靶，对基材表面进行离子轰击，离子刻蚀清洗基材表面，同时活化基材；S3，待步骤S2中的离子刻蚀结束后，保持沉积温度和炉腔的压强不变，开启Zr靶，沉积金属Zr层；S4，待步骤S3中的Zr金属层沉积完成后，保持沉积温度不变，关闭氩气，通入氮气，沉积Zr2N过渡层；S5，待步骤S4中的Zr2N过渡层沉积完成后，保持沉积温度不变，继续通入氮气，沉积ZrN层；S6，重复步骤S3～S5，交替沉积Zr金属层、Zr2N过渡层和ZrN层得到表面沉积有ZrZr2NZrN多层涂层的钛合金；所述步骤S6中的ZrZr2NZrN多层涂层包括多个ZrZr2NZrN涂层单元，所述ZrZr2NZrN涂层单元包括金属Zr层、Zr2N过渡层和陶瓷ZrN层，所述ZrZr2NZrN涂层单元的厚度为3μm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽工业大学 一种通过Zr/Zr2N/ZrN多层涂层提高钛合金表面耐腐蚀磨损性能的方法
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