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申请/专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要：一种双焦面成像系统以及多向分束器，双焦面成像系统，包括：照明模块，被配置为向待测件提供照明光束，照明光束在待测件表面形成为信号光束；物镜组件，被配置为接收信号光束，以及光学聚焦于第二待测层；分光组件，设于物镜组件的出射光路，被配置为将信号光束进行分束，形成向第一方向传输的第一光束以及向第二方向传输的第二光束；第一成像模块，被配置为在第一方向上接收第一光束，以及通过调焦处理光学聚焦于第一待测层，第一光束被用于对第一待测层进行成像；第二成像模块，被配置为在第二方向上接收第二光束，第二光束被用于对第二待测层进行成像。本申请可以提高对两个待测层的检测效率。
主权项：1.一种双焦面成像系统，其特征在于，包括：照明模块10，被配置为向待测件100提供照明光束，所述照明光束在所述待测件100表面形成为信号光束；所述待测件100的表面具有第一待测层101与第二待测层102，所述第一待测层101与所述第二待测层102之间存在预设高度差；物镜组件20，被配置为接收所述信号光束，以及光学聚焦于所述第二待测层102；分光组件30，设于所述物镜组件20的出射光路，被配置为将所述信号光束进行分束，形成向第一方向传输的第一光束以及向第二方向传输的第二光束；第一成像模块40，被配置为在第一方向上接收所述第一光束，以及通过调焦处理光学聚焦于所述第一待测层101，所述第一光束被用于对所述第一待测层101进行成像；第二成像模块50，被配置为在第二方向上接收所述第二光束，所述第二光束被用于对所述第二待测层102进行成像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳中科飞测科技股份有限公司 一种双焦面成像系统以及多向分束器
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