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申请/专利权人：芯云纵横半导体(上海)有限公司
摘要：本实用新型提供了一种探针台，设计半导体检测设备技术领域，具体包括壳体组件、探针组件、吸尘组件和进气机构；壳体组件内具有容纳空间，壳体组件包括机盖，机盖可拆卸的设于容纳空间的上方；探针组件设于容纳空间；吸尘组件设于容纳空间的底部，吸尘组件用于连接负压发生设备；进气机构包括过滤组件，过滤组件设于容纳空间的上部，进气机构用于向容纳空间中引入空气。本实用新型所提供的探针台通过吸尘组件将容纳空间中的带有杂质的空气排出容纳空间，并通过进气机构将空气中的杂质过滤后引入容纳空间，以去除容纳空间中的灰尘、杂质，从而保证容纳空间内的洁净度，进而提升探针台的可靠性。
主权项：1.一种探针台，其特征在于，包括：壳体组件100、探针组件200、吸尘组件300和进气机构400；所述壳体组件100内具有容纳空间，所述壳体组件100包括机盖110，所述机盖110可拆卸的设于所述容纳空间的上方；所述探针组件200设于所述容纳空间；所述吸尘组件300设于所述容纳空间的底部，所述吸尘组件300用于连接负压发生设备；所述进气机构400包括过滤组件410，所述过滤组件410设于所述容纳空间的上部，所述进气机构400用于向所述容纳空间中引入空气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯云纵横半导体(上海)有限公司 探针台
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