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申请/专利权人：杭州智微信息科技有限公司

摘要：本申请涉及干涉系统，在干涉系统中，光源模块将光源分束后入射到第一相干光模块和第二相干光模块；第一相干光模块将产生的第一相干光沿分光棱镜的透射方向透射出去；第二相干光模块对将产生的第二相干光入射到第一反射镜；第一反射镜将入射光垂直反射到第二反射镜；由第二反射镜垂直反射到第三反射镜，由第三反射镜垂直反射到第四反射镜，由第四反射镜反射到分光棱镜的反射面；分光棱镜对第一相干光透射及将第二相干光反射；采集模块采集干涉条纹；第一位移调节平台、第二位移平台和第三位移平台分别对第四反射镜、第三反射镜和第二反射镜的位置进行调节，实现对第一相干光和第二相干光的光程差以及两者之间的夹角同时进行精确调节。

主权项：1.一种干涉系统，其特征在于，所述干涉系统包括光源模块、第一相干光模块、第二相干光模块、分光棱镜、采集模块和控制模块，所述控制模块包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第一位移调节平台、第二位移调节平台和第三位移调节平台；所述光源模块，用于将稳定的光源经过分束后分别入射到所述第一相干光模块和所述第二相干光模块中；所述第一相干光模块，用于对入射的光进行处理得到的第一相干光沿所述分光棱镜的透射方向准直入射到所述分光棱镜；所述第二相干光模块，用于对入射的光进行处理得到的第二相干光准直入射到所述第一反射镜；所述第一反射镜，用于将入射的所述第二相干光垂直反射到所述第二反射镜；所述第二反射镜，用于将入射的所述第二相干光垂直反射到所述第三反射镜；所述第三反射镜，用于将入射的所述第二相干光垂直反射到所述第四反射镜；所述第四反射镜，用于将入射的所述第二相干光反射到所述分光棱镜的反射面上；所述第一反射镜的反射中心、所述第二反射镜的反射中心、所述第三反射镜的反射中心和所述第四反射镜的反射中心的高度相同；所述分光棱镜，用于将入射的所述第一相干光沿入射方向透射出去；以及将入射的所述第二相干光沿所述分光棱镜的反射面反射出去；所述采集模块，用于接收从所述分光棱镜出射的所述第一相干光和所述第二相干光，并采集所述第一相干光和所述第二相干光在干涉面上产生的干涉条纹；所述第一位移调节平台，用于在高度平面上对所述第四反射镜沿第一方向和第二方向进行调节；所述高度平面为所述第一反射镜的反射中心、所述第二反射镜的反射中心、所述第三反射镜的反射中心和所述第四反射镜的反射中心所在平面；所述第一方向与所述第一反射镜的光线入射方向平行；所述第二方向与所述第一反射镜的光线出射方向平行；所述第二位移调节平台，用于在高度平面上对所述第三反射镜沿所述第一方向进行调节；所述第二位移调节平台，还用于在高度平面上对所述第三反射镜沿所述第二方向进行调节；所述第三位移调节平台，用于在高度平面上对所述第二反射镜沿第二方向进行调节。

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