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金刚石曲面紫外光-涡流热辅助抛光方法和装置 

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申请/专利权人:西安交通大学

摘要:本发明公开了一种金刚石曲面紫外光‑涡流热辅助抛光方法和装置,通过非接触涡流加热抛光头,在抛光头与金刚石表面接触部位使金刚石表面石墨化,并用紫外光加速石墨化,通过抛光头的旋转运动去除石墨化层,实现金刚石表面的局部抛光,进而基于金刚石元件面形,规划抛光头运动轨迹,实现对整个金刚石元件的抛光。抛光装置包括工作台、工作槽、金刚石、抛光头、紫外光发生单元、PID温控装置及涡流加热装置;工作台固定于工作槽内,金刚石固定于工作台上,紫外光发生单元固定于工作槽内,抛光头正对金刚石,涡流加热装置的套筒通过轴承与抛光头连接,其内设置有线圈,涡流加热装置的温度传感器与PID温控装置的控制端相连。

主权项:1.一种金刚石曲面紫外光-涡流热辅助抛光装置,其特征在于,包括工作台16、工作槽17、金刚石15、抛光头14、紫外光发生单元5、涡流加热装置6及PID温控装置7;所述工作台16固定于所述工作槽17内,所述金刚石15固定于工作台上,所述紫外光发生单元5固定于工作槽17内,所述抛光头14正对金刚石15,所述涡流加热装置6中的套筒21位于抛光头14的上方,所述套筒21通过轴承19与所述抛光头14相连接,涡流加热装置6中的线圈20位于所述套筒内,涡流加热装置6中的温度传感器22正对所述抛光头14,温度传感器22的输出端与PID温控装置7的输入端相连接,PID温控装置7的输出端与涡流加热装置6的控制端相连接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安交通大学 金刚石曲面紫外光-涡流热辅助抛光方法和装置

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