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申请/专利权人：颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司
摘要：本发明揭示了一种晶圆烘烤装置，包括：壳体以及设置于壳体内部的加热机构，所述壳体包括顶壁以及排风口，所述晶圆烘烤装置包括位于所述加热机构以及顶壁之间的导流盘，所述导流盘的外周缘抵接于壳体的内壁面，所述导流盘具有出风口，所述壳体包括形成于所述导流盘与顶壁之间的第一缓冲空间，所述排风口连通所述第一缓冲空间，所述出风口连通所述第一缓冲空间。
主权项：1.一种晶圆烘烤装置，其特征在于，包括：壳体以及设置于壳体内部的加热机构，所述壳体包括顶壁以及排风口，所述晶圆烘烤装置包括位于所述加热机构以及顶壁之间的导流盘，所述导流盘的外周缘抵接于壳体的内壁面，所述导流盘具有出风口，所述壳体包括形成于所述导流盘与顶壁之间的第一缓冲空间，所述排风口连通所述第一缓冲空间，所述出风口连通所述第一缓冲空间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 颀中科技(苏州)有限公司 合肥颀中科技股份有限公司 晶圆烘烤装置
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