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申请/专利权人：三菱电机株式会社
摘要：器件检查装置50具备：多个探头3；检查部4，其测定每个半导体器件2的检查值数据data1；存储部16，其对包括检查值数据data1以及半导体器件2的判定结果data2在内的检查结果数据data3进行存储；以及解析部15，其通过基于记录于存储部16的每个检查项目中存在的多个检查结果数据data3的统计处理，来解析每个探头3的多个检查结果数据data3之间是否存在显著差异，在存在显著差异的情况下判定为该探头3异常。
主权项：1.一种器件检查装置，将多个半导体器件并排进行检查，其特征在于，具备：壳体，其搭载多个所述半导体器件；多个探头，它们具有与所述半导体器件的电极接触的探针，并且按每个所述半导体器件单独使用；检查部，其对多个所述半导体器件施加每个所述半导体器件的电信号，并测定每个所述半导体器件的检查值数据；检查判定部，其基于所述检查值数据，进行所述半导体器件是良品还是不良品的判定；存储部，其对包括所述检查值数据以及所述半导体器件的所述判定的结果在内的检查结果数据进行存储；解析部，其通过基于存储于所述存储部的每个检查项目中存在的多个所述检查结果数据的统计处理，对每个所述探头的多个所述检查结果数据之间是否存在显著差异进行解析，在存在显著差异的情况下判定为该探头异常；以及警告部，其示出所述解析部中的所述探头为异常的异常判定的结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三菱电机株式会社 器件检查装置以及器件检查方法
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