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申请/专利权人：雅马哈发动机株式会社
摘要：该扩展装置（2）具备夹持部（214）、扩展环（281）及拍摄部（215），所述拍摄部（215）在从片构件（W2）的扩展开始（St）到扩展结束（Ed）为止的期间，在多个定时下拍摄扩展环（281）对晶片（W1）的扩展状态。
主权项：1.一种扩展装置，具备：夹持部，把持包含具有伸缩性的片构件的晶片环构造体，所述片构件粘贴有通过沿着分割线被分割而形成多个半导体芯片的晶片；扩展环，在所述夹持部把持了所述晶片环构造体的状态下，通过使所述片构件扩展而将所述晶片分割成互相设有间隔的状态的所述多个半导体芯片；及拍摄部，在从所述片构件的扩展开始到扩展结束为止的期间，在多个定时下拍摄所述扩展环对所述晶片的扩展状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 雅马哈发动机株式会社 扩展装置、半导体芯片的制造方法及半导体芯片
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