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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明涉及一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置，包括横向的圆柱形的石英舟外壳，石英舟外壳内部从右向左依次竖向设置有第一隔板、第二隔板和第三隔板，第三空腔内中心设置有横向圆柱形的鼠笼舟，鼠笼舟的圆周面上均匀设置有若干通孔，第一隔板中心设置有中心通孔，第二隔板和第三隔板上均匀设置有若干通气孔，石英舟外壳右端面底部设置有进气口。本发明的有益效果是：本发明可以有效改善晶圆片表面流速不均匀导致的沉积不均匀现象，同时减少炉管内壁的薄膜沉积，节约生产成本。
主权项：1.一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置，其特征在于：包括横向的圆柱形的石英舟外壳，石英舟外壳内部从右向左依次竖向设置有第一隔板、第二隔板和第三隔板，所述石英舟外壳右端端面与第一隔板之间形成第一空腔，第一隔板与第二隔板之间形成第二空腔，第二隔板与第三隔板之间形成第三空腔，第三隔板与石英舟外壳左端端面之间形成第四空腔，所述第三空腔内中心设置有横向圆柱形的鼠笼舟，所述鼠笼舟的左右两端端面均设置有封堵板，且鼠笼舟的圆周面上均匀设置有若干通孔，所述第一隔板中心设置有中心通孔，第二隔板和第三隔板上均匀设置有若干通气孔，所述石英舟外壳右端面底部设置有两个与第一空腔相连通的进气口，所述进气口外接有进气组件，所述石英舟外壳左端面中心设置有出气口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置
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