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一种电流极性可调的铁酸铋光电器件及调控方法 

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申请/专利权人:之江实验室

摘要:本发明公开了一种电流极性可调的铁酸铋光电器件及调控方法,该铁酸铋光电器件是通过改变入射激光的波长,调控铁酸铋薄膜样品的面外畴结构,调控光生载流子的分离和迁移特性,实现对铁酸铋光电器件光电流方向的调控。其方法引入了调控光电流极性新的物理手段,引入了调控光电流极性新的物理机制;且读取光电流的测试过程中,无需任何外加电压,实现了低功耗。

主权项:1.一种电流极性可调的铁酸铋光电器件,其特征在于,所述铁酸铋光电器件是通过以下步骤制备得到:(1)通过磁控溅射在铁酸铋薄膜样品的表面生长ITO电极;其ITO电极的厚度30-80nm;(2)再对生长ITO电极的铁酸铋薄膜样品的表面进行氧等离子体处理,并旋涂0.5微米的AZ601胶;(3)在紫外光刻机下对步骤(2)得到的样品继续进行光刻处理;(4)通过离子束刻蚀机对无光刻胶的区域进行刻蚀处理;(5)最后通过湿法清洗刻蚀去除器件表面残留的光刻胶,即得到电流极性可调的铁酸铋-氧化铟锡器件。

全文数据:

权利要求:

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