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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于太阳能电池溅射材料技术领域，公开了一种硒化锑溅射靶材及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤：将硒粒和锑粒混合后放进管式炉中，保护气氛下升温至215～230℃进行煅烧处理，然后升温至650～680℃进行高温烧结，物料随炉冷却，得到硒化锑锭；然后把硒化锑锭破碎后过325～360目不锈钢筛网，得到粒径＜45μm的硒化锑合金粉；将硒化锑合金粉经预压得到硒化锑坯体，在真空条件下升温至505～510℃并加压至35～38T热等静压成型，得到硒化锑溅射靶材。本发明以硒粒和锑粒为原料，通过高温烧结、破碎筛分和热等静压成型等工序，所得硒化锑溅射靶材具有致密度高，纯度高，组分均匀等优点。
主权项：1.一种硒化锑溅射靶材的制备方法，其特征在于，包括如下制备步骤：1高温烧结：将硒粒和锑粒混合后放进管式炉中，保护气氛下升温至215～230℃进行煅烧处理，然后升温至650～680℃进行高温烧结，物料随炉冷却，得到硒化锑锭；2破碎筛分：将所得硒化锑锭经破碎后过325～360目不锈钢筛网，得到粒径＜45μm的硒化锑合金粉；3热等静压：将所得硒化锑合金粉经预压得到硒化锑坯体，然后在真空条件下升温至505～510℃并加压至35～38T热等静压成型，得到硒化锑溅射靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种硒化锑溅射靶材及其制备方法
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