龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：源能智创(江苏)半导体有限公司
摘要：本发明涉及一种曝光镜头装置的调试方法、曝光镜头装置及直写曝光设备，所述曝光镜头装置包括照明组件、与照明组件分体设置且位于照明组件的出光侧的镜头、驱动镜头运动的运动模组，本发明的曝光镜头装置的调试方法调试过程简单，调试效率较高，有效缩短调试时间。通过镜头光轴调整、倾斜角度调整、成像能量均匀性调整、成像完整性调整、焦面一致性调整，对曝光镜头装置在x轴、y轴、z轴以及x轴旋转方向Rx、y轴旋转方向Ry、z轴旋转方向Rz进行调试，使镜头的光轴垂直于运动平台的曝光台面，避免镜头的光轴倾斜影响曝光镜头装置的解析精度。
主权项：1.一种曝光镜头装置的调试方法，其特征在于，所述曝光镜头装置包括照明组件、与照明组件分体设置且位于照明组件的出光侧的镜头、驱动镜头沿着照明组件和镜头的排布方向往复运动的运动模组，所述曝光镜头装置配置有多自由度的运动平台，所述曝光镜头装置的调试方法包括：镜头光轴调整：S1，设置镜头位于初始位置，标定镜头的初始焦面位置，将运动平台的曝光台面调整至初始焦面位置；S2，设置镜头和曝光台面中的一个不动，另一个从起始位置开始沿着z轴正向移动至比起始位置偏离预设距离的位置，再沿着z轴反向移动至比起始位置偏离预设距离的位置，每次移动后获取镜头的轴心坐标，其中，正向移动次数和反向移动次数均为至少一次；S3，依据所有轴心坐标的测量结果计算x轴方向的全部坐标差值和y轴方向的全部坐标差值；S4，依据x轴方向的全部坐标差值调整镜头沿x轴的旋转角度，依据y轴方向的全部坐标差值调整镜头沿y轴的旋转角度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 源能智创(江苏)半导体有限公司 曝光镜头装置的调试方法、曝光镜头装置及直写曝光设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号