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申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种玻璃基板在线曝光吸附平台，属于玻璃基板曝光技术领域，包括吸盘组件、曝光单元、Z轴组件和固定设置的滚轮输送组件，所述吸盘组件包括与负压设备连通且用于吸附玻璃基板的吸盘；曝光单元设置在所述吸盘组件的上方；Z轴组件用于驱动所述吸盘组件升降；所述滚轮输送组件包括用于输送玻璃基板的若干输送滚轮；所述Z轴组件驱动所述吸盘升高至高位时，所述输送滚轮顶端的高度低于所述吸盘上表面的高度，所述Z轴组件驱动所述吸盘下降至低位时，所述输送滚轮顶端的高度高于所述吸盘上表面的高度。本实用新型一方面，降低了实际的曝光成本，另一方面，可以节省曝光设备的占地空间，同时也能很好地融入到玻璃基板的生产线内。
主权项：1.一种玻璃基板在线曝光吸附平台，其特征在于，包括：吸盘组件1，所述吸盘组件1包括与负压设备连通且用于吸附玻璃基板的吸盘11；曝光单元2，设置在所述吸盘组件1的上方；Z轴组件3，用于驱动所述吸盘组件1升降；以及固定设置的滚轮输送组件4，所述滚轮输送组件4包括用于输送玻璃基板的若干输送滚轮41；所述Z轴组件3驱动所述吸盘11升高至高位时，所述输送滚轮41顶端的高度低于所述吸盘11上表面的高度，所述Z轴组件3驱动所述吸盘11下降至低位时，所述输送滚轮41顶端的高度高于所述吸盘11上表面的高度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 一种玻璃基板在线曝光吸附平台
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