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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：一种集成电路、光电侦测器以及形成集成电路的方法，集成电路包括光电侦测器。光电侦测器包括圆形光栅，此光栅形成在半导体基板中的环形沟槽中。圆形光栅包括定位在环形沟槽中的多个介电鳍片及多个光敏鳍片。圆形光栅配置用以接收入射光，并引导入射光围绕环形沟槽穿过多个介电鳍片及多个光敏鳍片，直至光被多个光敏鳍片中的一者吸收为止。
主权项：1.一种集成电路，其特征在于，包括：一半导体基板；一环形沟槽，在该半导体基板中；多个介电鳍片，在该环形沟槽中；以及多个光敏鳍片，定位在该环形沟槽中，每一光敏鳍片在两个相邻的介电鳍片之间，其中所述多个介电鳍片及所述多个光敏鳍片配置作为一圆形光栅，该圆形光栅配置用以引导入射光围绕该环形沟槽。
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百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 集成电路、光电侦测器以及形成集成电路的方法
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