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申请/专利权人：周星工程股份有限公司
摘要：根据示例性实施例的形成电容器电极的方法包括通过喷射含钛Ti原料和含氮反应物形成TiN薄膜的步骤和通过喷射含硅Si原料和含氮反应物形成SiN薄膜的步骤，且多次喷射含钛Ti原料和含硅Si原料中的至少一者。因此，根据示例性实施例，当电容器的顶电极和底电极中的至少一者通过层压TiN薄膜和SiN薄膜形成时，SiN薄膜的沉积速率可以被改善，且薄膜的台阶覆盖率可以被改善。
主权项：1.一种形成电容器电极的方法，所述方法包括：通过喷射含钛Ti原料和含氮反应物来形成氮化钛TiN薄膜；以及通过喷射含硅Si原料和含氮反应物来形成氮化硅SiN薄膜，其中，所述含钛Ti原料和所述含硅Si原料中的至少一者被多次喷射。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 周星工程股份有限公司 形成电容器电极的方法
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