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申请/专利权人：武汉正源高理光学有限公司
摘要：本发明提供了一种在不锈钢衬底表面镀制铬膜的方法和光学器件，涉及光学膜系技术领域。本发明提供的在不锈钢衬底表面镀制铬膜的方法包括以下步骤：采用磁控溅射在不锈钢衬底表面依次层叠沉积CrNO膜、CrN膜和Cr2O3膜；所述CrNO膜的厚度为所述磁控溅射沉积CrNO膜在Ar‑N2‑CO2混合气体气氛中进行，所述Ar、N2和CO2的气体流量比例为5～6:1：1；所述Ar的气体流量为25～35sccms。本发明通过对CrNO膜膜层成分和厚度的设置促使膜层和金属不锈钢衬底紧密结合，确保光刻制图对精细度的要求，具备特征尺寸＜1μm的图案加工能力。
主权项：1.一种在不锈钢衬底表面镀制铬膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：采用磁控溅射在不锈钢衬底表面依次层叠沉积CrNO膜、CrN膜和Cr2O3膜；所述CrNO膜的厚度为800~1200Å；所述磁控溅射沉积CrNO膜在Ar-N2-CO2混合气体气氛中进行，所述Ar、N2和CO2的气体流量比例为（5~6）:1：1；所述Ar的气体流量为25~35sccms；所述Cr2O3膜的厚度为500~1000Å；所述磁控溅射沉积Cr2O3膜时，阴极靶材为Cr靶；所述磁控溅射沉积Cr2O3膜在Ar-N2-CO2混合气体气氛中进行，所述Ar、N2和CO2的气体流量比例为1:1：（4~5）；所述磁控溅射沉积Cr2O3膜时Ar的气体流量为25~35sccms。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉正源高理光学有限公司 一种在不锈钢衬底表面镀制铬膜的方法和光学器件
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