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申请/专利权人:日本活塞环株式会社
摘要:本发明的课题是提供具有示出恒定且稳定的抗削性和耐磨损性、并且耐剥离性密合性优异的包覆膜的滑动构件、及该包覆膜。其解决方法是滑动构件10,其在基材11上的滑动面16上具有包覆膜1,在通过明视野TEM图像观察包覆膜1的剖面时,包含相对地由黑色表示的黑色硬质碳层B和相对地由白色表示的白色硬质碳层W的重复单元在厚度方向Y上层叠,且具有1μm~50μm的范围内的合计厚度,在相邻的黑色硬质碳层B和白色硬质碳层W中,白色硬质碳层W的硬度比黑色硬质碳层B高,白色硬质碳层W的[sp2sp2+sp3]比比黑色硬质碳层B大。
主权项:1.一种滑动构件,其在基材上的滑动面上具有包覆膜,通过明视野TEM图像观察所述包覆膜的剖面时,包含相对地由黑色表示的黑色硬质碳层和相对地由白色表示的白色硬质碳层的重复单元在厚度方向上层叠,且具有1μm~50μm的范围内的合计厚度,在相邻的所述黑色硬质碳层和所述白色硬质碳层中,所述白色硬质碳层的硬度比所述黑色硬质碳层高,所述白色硬质碳层的[sp2sp2+sp3]比大于所述黑色硬质碳层,所述黑色硬质碳层在施加-100~-300V范围的偏压下于基材温度为100℃~300℃的范围进行成膜,所述白色硬质碳层在施加0V、或者超过0V~-50V以下范围的偏压下,一边使上述基材温度降低一边进行成膜。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 日本活塞环株式会社 滑动构件、其制造方法及包覆膜
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