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申请/专利权人：天津洙诺科技有限公司
摘要：本申请提供了一种测量机构及硅片测量装置，属于硅片测量技术领域。该测量机构包括传送带，所述传送带上运输有硅片，硅片上方设置有位移传感器，还包括有顶起件和支撑座，所述位移传感器和所述顶起件均安装在所述支撑座上，所述顶起件活动托起硅片。在该申请中：利用传送带传输硅片，利用顶起件将硅片从传送带上顶起并与上方的位移传感器接触，进行测量，避免了位移传感器频繁移动导致的震动，提高了传感器的可靠性，顶起件也代替传送带作为硅片的支撑平面，避免了传统运输带平面度和硬度不足的情况。
主权项：1.一种测量机构，包括有传送带10，所述传送带10上运输有硅片，硅片上方设置有位移传感器20，其特征在于，还包括有顶起件30和支撑座40，所述位移传感器20和所述顶起件30均安装在所述支撑座40上，所述顶起件30活动托起硅片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津洙诺科技有限公司 一种测量机构及硅片测量装置
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