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申请/专利权人：航天科工(长沙)新材料研究院有限公司
摘要：本实用新型涉及金刚石生长技术领域，公开一种金刚石生长托盘及金刚石生长装置，金刚石生长托盘包括托盘本体，托盘本体上开设有吸附孔，金刚石籽晶能覆盖封闭吸附孔的一端，吸附孔的另一端与基台之间具有间隙。金刚石生长装置包括生长箱、抽真空机、反应气输送机构、基台以及金刚石生长托盘，生长箱内形成有生长腔室，抽真空机和反应气输送机构均与生长腔室连通，基台位于生长腔室内，金刚石生长托盘放置于基台上端面。解决了金刚石漂移和尖端放电的问题，金刚石生长过程中较为稳定，生长质量较佳。
主权项：1.一种金刚石生长托盘，其特征在于，包括托盘本体，所述托盘本体上开设有吸附孔，所述吸附孔沿所述托盘本体的厚度方向贯穿所述托盘本体，所述托盘本体用于承载金刚石籽晶，并能放置在基台上，所述金刚石籽晶能覆盖封闭所述吸附孔的一端，所述吸附孔的另一端与所述基台之间具有间隙。
全文数据：
权利要求：
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