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一种减少发热量的单条栅单元 

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申请/专利权人:杭州致善微电子科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种单条栅单元,所述单栅条包括衬底和设置在衬底上的栅极、源极和漏极,所述衬底具有位于所述栅极下方的沟道区域,所述沟道区域中具有阻断电子流通的惰性区域,惰性区域的宽度小于栅极宽度。栅极下方的沟道区域中,由于惰性区域的设置,具有电荷移动的导通区域面积减少,发热量降低,有效解决器件的自热效应带来的性能衰退的问题。

主权项:1.一种单条栅单元,包括衬底和设置在衬底上的栅极、源极和漏极,所述衬底具有位于所述栅极下方的沟道区域,其特征在于,所述沟道区域中具有阻断电子流通的惰性区域,惰性区域的宽度小于栅极宽度;所述沟道区域中具有第一镂空区域,所述第一镂空区域为惰性区域。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 杭州致善微电子科技有限公司 一种减少发热量的单条栅单元

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